2026-08-20

PEEK 材料在半导体设备的应用

PEEK in Semiconductor Equipment
PEEK 材料在半导体设备的应用

随着半导体制造工艺向更小线宽、更高洁净度发展,对设备耐高温、低析出、高绝缘材料的需求日益迫切。聚醚醚酮(PEEK)凭借 250℃ 的连续使用温度、优异的尺寸稳定性与超低耐出气特性,成为半导体设备关键部件的理想选择。

核心优势

  • 连续使用温度 250℃,短时更高
  • 固有阻燃 UL94 V-0,低发烟
  • 极低析出率,适合高洁净环境
  • 耐等离子体与化学腐蚀

在晶圆载具、清洗夹具、检测治具等场景,PEEK 板棒都能显著提升设备寿命与工艺稳定性。

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